Роль механiчних напружень при iоннiй iмплантацiї твердих розчинiв CdHgTe

Smirnov, A.B. та Lytvyn, O.S. та Morozhenko, V.A. та Savkina, R.K. та Smoliy, M.I. та Udovytska, R.S. та Sizov, F.F. (2013) Роль механiчних напружень при iоннiй iмплантацiї твердих розчинiв CdHgTe Український фізичний журнал , 58 (9). с. 872-880. ISSN 2071-0186

[img]
Перегляд
Текст
A_Smirnov_O_Lytvyn_V_Morozhenko_etc_UkrJPh_2013_v58_IS.pdf

Download (1MB) | Перегляд
Офіційне посилання: http://www.ujp.bitp.kiev.ua/?lang=uk

Анотація

Представлено результати систематичних дослiджень структурних, оптичних та електричних властивостей напiвпровiдникових гетероструктур nCdxHg1xTe/CdZnTe (x 0,223) до та пiсля опромiнення iонами B+ та Ag+ (100 кeВ, доза iмплантацiї Q = 3 1013 см2). Здiйснено математичне моделювання процесу iонної iмплантацiї iз застосуванням програмного пакета TRIM_2008. Встановлено, що в результатi опромiнення на поверхнi дослiджуваних зразкiв вiдбувається утворення характерного рельєфу, а в приповерхневiй областi – шару з вiдмiнними вiд матрицi оптичними характеристиками. В результатi iмплантацiї епiтаксiйних шарiв CdxHg1xTe iонами бору та срiбла з однаковою енергiєю та дозою утворюється суттєво вiдмiнний за характером пошкодження та товщиною порушений шар з максимальними механiчними напруженнями, що вiдрiзняються на два порядки величини. Отримано значення коефiцiєнта стискання кристалiчної ґратки та механiчних напружень макс в областi радiацiйного розупорядкування твердого розчину. Обговорюється роль механiчних напружень легованого шару у перерозподiлi дефектiв i формуваннi постiмплантацiйних властивостей Cd0;223Hg0;777Te

Тип елементу : Стаття
Ключові слова: Іонна iмплантацiя; наноструктуювання; напiвпровiдникова структура
Типологія: Статті у журналах > Фахові (входять до переліку фахових, затверджений МОН)
Підрозділи: Інститути > Інститут суспільства > Кафедра інформаційних технологій і математичних дисциплін > Кафедра інформатики
Користувач, що депонує: Оксана Степанівна Литвин
Дата внесення: 24 Вер 2013 07:51
Останні зміни: 22 Квіт 2016 07:22
URI: http://elibrary.kubg.edu.ua/id/eprint/2122

Actions (login required)

Перегляд елементу Перегляд елементу