Перетворення структури SiC/por-SiC/TiO2 в процесі швидкого термічного відпалу

Конакова, Р.В. та Коломис, А.Ф. та Литвин, Оксана Степанівна та Охрименко, О.Б. та Стрельчук, В.В. та Светличный , А.В. та Линец, Л.Г. (2012) Перетворення структури SiC/por-SiC/TiO2 в процесі швидкого термічного відпалу Физика и техника полупроводников, 46 (9). с. 1244-1247. ISSN 0015-3222

[img]
Перегляд
Текст
R_Konakova_O_Kolomys_O_Lytyvn_etc_FTP_2012_v46_IS.pdf

Download (370kB) | Перегляд
Офіційне посилання: http://journals.ioffe.ru/ftp/

Анотація

Проведено дослідження морфології поверхні, спектрів комбінаційного розсіювання світла і фотолюмінесценції структур SiC/por-SiC/TiO2 до і після швидкої термічної обробки. Показано, що швидка термічна обробка призводить до появи у спектрах комбінаційного розсіяння смуг, характерних для сполук вуглецю. Аналіз спектрів фотолюмінесценції, яка збуджується випромінюванням з енергією, меншою ширини забороненої зони в 6H-SiC, показав, що поява фотолюмінесценції в пористому карбіді кремнію пов'язана з домішковими станами, які утворюються на поверхні за рахунок продуктів хімічних реакцій при травленні.

Тип елементу : Стаття
Ключові слова: карбід кремнію; швидкий термічний відпал; морфологія поверхні; фотолюмінесценція; комбінаційне розсіяння світла
Типологія: Статті у журналах > Наукові (входять до інших наукометричних баз, крім перерахованих, мають ISSN, DOI, індекс цитування)
Підрозділи: Інститути > Інститут суспільства > Кафедра інформаційних технологій і математичних дисциплін > Кафедра інформатики
Користувач, що депонує: Оксана Степанівна Литвин
Дата внесення: 26 Вер 2013 13:36
Останні зміни: 25 Лист 2015 08:54
URI: http://elibrary.kubg.edu.ua/id/eprint/2227

Actions (login required)

Перегляд елементу Перегляд елементу