Властивості низкорефрактивних плівок, отриманих за методом близького перенесення при сублімації графіту в квазізамкнутому об'ємі

Сопинский, Н.В. та Хомченко, В.С. та Литвин, Оксана Степанівна та Савин, А.К. та Семененко, Н.А. та Евтух, А.А. та Соболевский, В.П. та Ольховик, Г.П. (2011) Властивості низкорефрактивних плівок, отриманих за методом близького перенесення при сублімації графіту в квазізамкнутому об'ємі Журнал технической физики, 81 (11). с. 125-129. ISSN 0044-4642

[img]
Перегляд
Текст
N_Sopinskii_V_Khomchenko_O_Lytvyn_etc_ZhTF_2011_v81_IS.pdf

Download (318kB) | Перегляд
Офіційне посилання: http://journals.ioffe.ru/jtf/

Анотація

Представлено результати досліджень властивостей низкорефрактивних вуглецевих плівок, нанесених технологією близького перенесення при сублімації графіту в закритому об'ємі. За допомогою методу монохроматичної багатокутові еліпсометрії досліджено оптичні властивості плівок, а за методом атомно-силової мікроскопії - морфологія їх поверхні. Встановлено, що плівки мають стовбчасту структуру з базовою шорсткістю поверхні ~ 1nm, крім того, на поверхні плівки присутні окремі острівці з діаметром основи ~ 200nm і висотою до 50nm. Показано, що осадження нізкорефрактивної вуглецевої плівки за методом близького перенесення на поверхню кремнієвих вістрів призводить до зниження порогу електронної польової емісії та різкого зростання величини струму

Тип елементу : Стаття
Ключові слова: низкорефрактивні вуглецеві плівки; багатокутова еліпсометрія; атомно силова мікроскопія
Типологія: Статті у журналах > Наукові (входять до інших наукометричних баз, крім перерахованих, мають ISSN, DOI, індекс цитування)
Підрозділи: Інститути > Інститут суспільства > Кафедра інформаційних технологій і математичних дисциплін > Кафедра інформатики
Користувач, що депонує: Оксана Степанівна Литвин
Дата внесення: 30 Вер 2013 13:57
Останні зміни: 20 Лист 2015 13:47
URI: http://elibrary.kubg.edu.ua/id/eprint/2238

Actions (login required)

Перегляд елементу Перегляд елементу