Механічна скануюча зондова нанолітографія: моделювання і застосування

Lytvyn, P.M. та Lytvyn, O.S. та Dyachyns’ka, O.M. та Grytsenko, K.P. та Schrader, S. та Prokopenko, I.V. (2012) Механічна скануюча зондова нанолітографія: моделювання і застосування Semiconductor Physics, Quantum Electronics & Optoelectronics, 15 (4). с. 321-327. ISSN 1560-8034

[img]
Перегляд
Текст
P_Lytvyn_O_Lytvyn_O_Dyachyns’ka_etc_SPQEO_2012_v15_IS.pdf

Download (800kB) | Перегляд
Офіційне посилання: http://www.journal-spqeo.org.ua/

Анотація

В роботі представлено моделювання механічної взаємодії вістря скануючого атомно-силового мікроскопа (АСМ) з поверхнями різних типів, що дає можливість оптимізувати параметри і режими для механічної АСМ нанолітографії. Реалізовано прототип механічної нанозондової літографії за методом прямого нанесення зображення на поверхню при виготовленні функціональних елементів молекулярної електроніки. Зокрема в багатошаровій наноструктурі политетрафторетилен/золо-то/крем¬ній сформовані нитки поліметинового барвника перерізом 3х20 нм.

Тип елементу : Стаття
Ключові слова: скануючий зондовий мікроскоп; нанолітографія; наноструктури
Типологія: Статті в журналах > Наукові (входять до інших наукометричних баз, крім перерахованих, мають ISSN, DOI, індекс цитування)
Підрозділи: Інститути > Інститут суспільства > Кафедра інформаційних технологій і математичних дисциплін > Кафедра інформатики
Користувач, що депонує: Оксана Степанівна Литвин
Дата внесення: 24 Черв 2014 08:20
Останні зміни: 25 Лист 2015 08:49
URI: http://elibrary.kubg.edu.ua/id/eprint/3336

Actions (login required)

Перегляд елементу Перегляд елементу