Характеризація пористого карбіду кремнію за спектрами поглинання і фотолюмінесценції

Березовская, Н.И. та Бачериков, Ю.Ю. та Конакова, Р.В. та Охрименко, О.Б. та Литвин, Оксана Степанівна та Линец, Л.Г. та Светличный, А.М. (2014) Характеризація пористого карбіду кремнію за спектрами поглинання і фотолюмінесценції Физика и техника полупроводников, 48 (8). с. 1055-1058. ISSN 0015-3222

[img]
Перегляд
Текст
N_Berezovska_Yu_Bacherikov _R_ Konakov_О_Okhrimenko _O_Lytvyn_etc_FTP-2014_IS.pdf

Download (393kB) | Перегляд
Офіційне посилання: http://journals.ioffe.ru/ftp

Анотація

Представлені результати досліджень методами атомно-силової мікроскопії, спектроскопії оптичного поглинання і фотолюмінесценції пористого карбіду кремнію, створеного методом анодного травлення. Аналіз отриманих даних вказує на відсутність в пористому шарі фази кубічного SiC, а поява фотолюмінесценції por-SiC при енергії збуджуючого випромінювання hνex ≤ Eg обумовлена утворенням центрів випромінювання, пов'язаних з атомами домішки і поверхневими дефектами, що виникають при анодному травленні зразка та подальшій обробці, що розкриває пори.

Тип елементу : Стаття
Ключові слова: пористий карбід кремнію; анодне травлення; атомно-силова мікроскопія; фотолюмінесценція
Типологія: Статті в журналах > Наукові (входять до інших наукометричних баз, крім перерахованих, мають ISSN, DOI, індекс цитування)
Підрозділи: Інститути > Інститут суспільства > Кафедра інформаційних технологій і математичних дисциплін > Кафедра інформатики
Користувач, що депонує: Оксана Степанівна Литвин
Дата внесення: 25 Лют 2015 08:21
Останні зміни: 19 Січ 2017 09:55
URI: http://elibrary.kubg.edu.ua/id/eprint/5447

Actions (login required)

Перегляд елементу Перегляд елементу