Smirnov, A.B. та Lytvyn, O.S. та Morozhenko, V.A. та Savkina, R.K. та Smoliy, M.I. та Udovytska, R.S. та Sizov, F.F. (2013) Роль механiчних напружень при iоннiй iмплантацiї твердих розчинiв CdHgTe Український фізичний журнал , 58 (9). с. 872-880. ISSN 2071-0186
Перегляд |
Текст
A_Smirnov_O_Lytvyn_V_Morozhenko_etc_UkrJPh_2013_v58_IS.pdf Download (1MB) | Перегляд |
Анотація
Представлено результати систематичних дослiджень структурних, оптичних та електричних властивостей напiвпровiдникових гетероструктур nCdxHg1xTe/CdZnTe (x 0,223) до та пiсля опромiнення iонами B+ та Ag+ (100 кeВ, доза iмплантацiї Q = 3 1013 см2). Здiйснено математичне моделювання процесу iонної iмплантацiї iз застосуванням програмного пакета TRIM_2008. Встановлено, що в результатi опромiнення на поверхнi дослiджуваних зразкiв вiдбувається утворення характерного рельєфу, а в приповерхневiй областi – шару з вiдмiнними вiд матрицi оптичними характеристиками. В результатi iмплантацiї епiтаксiйних шарiв CdxHg1xTe iонами бору та срiбла з однаковою енергiєю та дозою утворюється суттєво вiдмiнний за характером пошкодження та товщиною порушений шар з максимальними механiчними напруженнями, що вiдрiзняються на два порядки величини. Отримано значення коефiцiєнта стискання кристалiчної ґратки та механiчних напружень макс в областi радiацiйного розупорядкування твердого розчину. Обговорюється роль механiчних напружень легованого шару у перерозподiлi дефектiв i формуваннi постiмплантацiйних властивостей Cd0;223Hg0;777Te
| Тип елементу : | Стаття |
|---|---|
| Ключові слова: | Іонна iмплантацiя; наноструктуювання; напiвпровiдникова структура |
| Типологія: | Це архівна тематика Київського університету імені Бориса Грінченка > Статті у журналах > Фахові (входять до переліку фахових, затверджений МОН) |
| Підрозділи: | Це архівні підрозділи Київського університету імені Бориса Грінченка > Кафедра інформатики |
| Користувач, що депонує: | Оксана Степанівна Литвин |
| Дата внесення: | 24 Вер 2013 07:51 |
| Останні зміни: | 22 Квіт 2016 07:22 |
| URI: | https://elibrary.kubg.edu.ua/id/eprint/2122 |
Actions (login required)
 |
Перегляд елементу |