Метрологічний аналіз та метрологічне забезпечення атомно-силової мікроскопії

Надорожняк, Х.О. та Витвицька , Л.А. та Литвин, Оксана Степанівна та Середюк, Орест Євгенович та Прокопенко, Інна Володимирівна (2011) Метрологічний аналіз та метрологічне забезпечення атомно-силової мікроскопії Методи та прилади контролю якості, 26 (26). с. 77-84. ISSN 1993-9981

[img]
Перегляд
Текст
Kh_Nadorozhniak_L_Vytvytska_O_Lytvyn_etc_MPKIA-2011-n26_IS.pdf

Download (5MB) | Перегляд
Офіційне посилання: http://library.nung.edu.ua/metodi-ta-priladi-kontr...

Анотація

Обгрунтовано необхідність розроблення та впровадження стандартів щодо метрологічного забезпечення скануючих зондових мікроскопів як найбільш перспективних засобів вимірювальної техніки в області нанотехнологій та їх використання при сертифікаційних, контрольних, інспекційних випробуваннях. Проведено метрологічний аналіз атомно-силового мікроскопа NanoScope IlІa Dimension 3000, розроблена його метрологічна модель та методика і засоби його калібрування. На основі експериментальних даних визначені розкиди значень геометричних параметрів поверхонь у нанометровому діапазоні 3D-вимірювань, викликані впливом різних джерел невизначеності

Тип елементу : Стаття
Ключові слова: атомно-силовий мікроскоп; невизначеність; метрологічний аналіз; калібрування; 3D-вимірювання; нанотехнології
Типологія: Статті у журналах > Фахові (входять до переліку фахових, затверджений МОН)
Підрозділи: Інститути > Інститут суспільства > Кафедра інформаційних технологій і математичних дисциплін > Кафедра інформатики
Користувач, що депонує: Оксана Степанівна Литвин
Дата внесення: 24 Вер 2013 07:56
Останні зміни: 25 Лист 2015 08:57
URI: http://elibrary.kubg.edu.ua/id/eprint/2113

Actions (login required)

Перегляд елементу Перегляд елементу