Надорожняк, Х.О. та Витвицька , Л.А. та Литвин, Оксана Степанівна та Середюк, Орест Євгенович та Прокопенко, Інна Володимирівна (2011) Метрологічний аналіз та метрологічне забезпечення атомно-силової мікроскопії Методи та прилади контролю якості, 26 (26). с. 77-84. ISSN 1993-9981
Перегляд |
Текст
Kh_Nadorozhniak_L_Vytvytska_O_Lytvyn_etc_MPKIA-2011-n26_IS.pdf Download (5MB) | Перегляд |
Анотація
Обгрунтовано необхідність розроблення та впровадження стандартів щодо метрологічного забезпечення скануючих зондових мікроскопів як найбільш перспективних засобів вимірювальної техніки в області нанотехнологій та їх використання при сертифікаційних, контрольних, інспекційних випробуваннях. Проведено метрологічний аналіз атомно-силового мікроскопа NanoScope IlІa Dimension 3000, розроблена його метрологічна модель та методика і засоби його калібрування. На основі експериментальних даних визначені розкиди значень геометричних параметрів поверхонь у нанометровому діапазоні 3D-вимірювань, викликані впливом різних джерел невизначеності
| Тип елементу : | Стаття |
|---|---|
| Ключові слова: | атомно-силовий мікроскоп; невизначеність; метрологічний аналіз; калібрування; 3D-вимірювання; нанотехнології |
| Типологія: | Це архівна тематика Київського університету імені Бориса Грінченка > Статті у журналах > Фахові (входять до переліку фахових, затверджений МОН) |
| Підрозділи: | Це архівні підрозділи Київського університету імені Бориса Грінченка > Кафедра інформатики |
| Користувач, що депонує: | Оксана Степанівна Литвин |
| Дата внесення: | 24 Вер 2013 07:56 |
| Останні зміни: | 25 Лист 2015 08:57 |
| URI: | https://elibrary.kubg.edu.ua/id/eprint/2113 |
Actions (login required)
 |
Перегляд елементу |