Інтерференційна фотолітографія з використанням ефекту фототравлення в халькогенідних плівках

Dan’ko, V.A. та Indutny , I.Z. та Myn’ko, V.I. та Shepeliavyi, P.E. та Lykanyuk, M.V. та Lytvyn, O.S. (2012) Інтерференційна фотолітографія з використанням ефекту фототравлення в халькогенідних плівках Journal of Non-Oxide Glasses, 3 (2). с. 13-18. ISSN 2605-6874

[img]
Перегляд
Текст
V_Danko_I_Indutnyy_V_Minko_etc_JNOG_2012_v3_IS.pdf

Download (261kB) | Перегляд
Офіційне посилання: http://www.chalcogen.ro/jnog.html

Анотація

Досліджено шорсткість поверхні тонких плівок аморфних халькогенідних стекол (CHG) після фотостимульованого розчинення в селективних травниках на основі амінів. Встановлено, що середньоквадратична шорсткість поверхні відпаленої та фототравленої ChG-плівки значно менша, ніж осадженої і травленої в тому ж селективному травнику плівки. Використання нового ефекту фототравлення – фотоіндукованого підвищення розчинності відпалених ChG шарів – дає можливість отримати літографічні маски або періодичні рельєфно-фазові структури вищої якості. Обговорюється можливий механізм фотоіндукованого травлення CHG-плівок. Вперше записані з використанням ефекту фотоіндукованого травлення дифракційні гратки на германієвих CHG, екологічно прийнятніші сполук, ніж традиційно використовуваних халькогенідів миш'яку; вивчено їх характеристики.

Тип елементу : Стаття
Ключові слова: халькогенідні стекла; фотоіндуковане травлення; дифракційні гратки; атомно-силова мікроскопія
Типологія: Статті у журналах > Інші (не входять ні до фахових, ні до наукометричних баз)
Підрозділи: Інститути > Інститут суспільства > Кафедра інформаційних технологій і математичних дисциплін > Кафедра інформатики
Користувач, що депонує: Оксана Степанівна Литвин
Дата внесення: 26 Вер 2013 12:55
Останні зміни: 25 Лист 2015 08:48
URI: http://elibrary.kubg.edu.ua/id/eprint/2226

Actions (login required)

Перегляд елементу Перегляд елементу