Dan’ko, V.A. та Indutny , I.Z. та Myn’ko, V.I. та Shepeliavyi, P.E. та Lykanyuk, M.V. та Lytvyn, O.S. (2012) Інтерференційна фотолітографія з використанням ефекту фототравлення в халькогенідних плівках Journal of Non-Oxide Glasses, 3 (2). с. 13-18. ISSN 2605-6874
Перегляд |
Текст
V_Danko_I_Indutnyy_V_Minko_etc_JNOG_2012_v3_IS.pdf Download (261kB) | Перегляд |
Анотація
Досліджено шорсткість поверхні тонких плівок аморфних халькогенідних стекол (CHG) після фотостимульованого розчинення в селективних травниках на основі амінів. Встановлено, що середньоквадратична шорсткість поверхні відпаленої та фототравленої ChG-плівки значно менша, ніж осадженої і травленої в тому ж селективному травнику плівки. Використання нового ефекту фототравлення – фотоіндукованого підвищення розчинності відпалених ChG шарів – дає можливість отримати літографічні маски або періодичні рельєфно-фазові структури вищої якості. Обговорюється можливий механізм фотоіндукованого травлення CHG-плівок. Вперше записані з використанням ефекту фотоіндукованого травлення дифракційні гратки на германієвих CHG, екологічно прийнятніші сполук, ніж традиційно використовуваних халькогенідів миш'яку; вивчено їх характеристики.
| Тип елементу : | Стаття |
|---|---|
| Ключові слова: | халькогенідні стекла; фотоіндуковане травлення; дифракційні гратки; атомно-силова мікроскопія |
| Типологія: | Це архівна тематика Київського університету імені Бориса Грінченка > Статті у журналах > Інші (не входять ні до фахових, ні до наукометричних баз) |
| Підрозділи: | Це архівні підрозділи Київського університету імені Бориса Грінченка > Кафедра інформатики |
| Користувач, що депонує: | Оксана Степанівна Литвин |
| Дата внесення: | 26 Вер 2013 12:55 |
| Останні зміни: | 25 Лист 2015 08:48 |
| URI: | https://elibrary.kubg.edu.ua/id/eprint/2226 |
Actions (login required)
 |
Перегляд елементу |