Спосіб визначення товщини нанометрових шарів засобами атомно-силової мікроскопії

Прокопенко І.В., Литвин П.М., Литвин О.С. (2012) Спосіб визначення товщини нанометрових шарів засобами атомно-силової мікроскопії 67348.

[img]
Перегляд
Текст
I_Prokopenko_P_Lytvyn_O_Lytvyn_Patent_IS.pdf

Download (797kB) | Перегляд
Офіційне посилання: http://uapatents.com/4-67348-sposib-viznachennya-t...

Анотація

Спосіб визначення товщини нанометрових шарів, нанесених на підкладку, який включає утворення в шарі заглиблень , які досягають границі розділу "шар-підкладка". Спосіб відрізняється тим, що в шарі утворюють серію подряпин зондом атомно-силового мікроскопа із зростаючою силою навантаження на зонд. Одночасно вимірюють глибину подряпин і фіксують те значення глибини, яке залишається незмінним для останніх двох або більше подряпин, одержаних при зростаючій силі навантаження. Це значення приймають за товщину досліджуваного шару.

Тип елементу : Патент/свідоцтво
Додаткова інформація: Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова Національної академії наук України
Ключові слова: наношари; товщина; атомно-силова мікроскопія
Типологія: Патенти на винаходи
Підрозділи: Інститути > Інститут суспільства > Кафедра інформаційних технологій і математичних дисциплін > Кафедра інформатики
Користувач, що депонує: Оксана Степанівна Литвин
Дата внесення: 25 Лют 2015 09:26
Останні зміни: 13 Груд 2016 13:20
URI: http://elibrary.kubg.edu.ua/id/eprint/6222

Actions (login required)

Перегляд елементу Перегляд елементу