Прокопенко І.В., Литвин П.М., Литвин О.С. (2012) Спосіб визначення товщини нанометрових шарів засобами атомно-силової мікроскопії 67348.
Перегляд |
Текст
I_Prokopenko_P_Lytvyn_O_Lytvyn_Patent_IS.pdf Download (797kB) | Перегляд |
Офіційне посилання: http://uapatents.com/4-67348-sposib-viznachennya-t...
Анотація
Спосіб визначення товщини нанометрових шарів, нанесених на підкладку, який включає утворення в шарі заглиблень , які досягають границі розділу "шар-підкладка". Спосіб відрізняється тим, що в шарі утворюють серію подряпин зондом атомно-силового мікроскопа із зростаючою силою навантаження на зонд. Одночасно вимірюють глибину подряпин і фіксують те значення глибини, яке залишається незмінним для останніх двох або більше подряпин, одержаних при зростаючій силі навантаження. Це значення приймають за товщину досліджуваного шару.
| Тип елементу : | Патент/свідоцтво |
|---|---|
| Додаткова інформація: | Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова Національної академії наук України |
| Ключові слова: | наношари; товщина; атомно-силова мікроскопія |
| Типологія: | Це архівна тематика Київського університету імені Бориса Грінченка > Патенти на винаходи |
| Підрозділи: | Це архівні підрозділи Київського університету імені Бориса Грінченка > Кафедра інформатики |
| Користувач, що депонує: | Оксана Степанівна Литвин |
| Дата внесення: | 25 Лют 2015 09:26 |
| Останні зміни: | 13 Груд 2016 13:20 |
| URI: | https://elibrary.kubg.edu.ua/id/eprint/6222 |
Actions (login required)
 |
Перегляд елементу |