Сопинский, Н.В. та Хомченко, В.С. та Литвин, Оксана Степанівна та Савин, А.К. та Семененко, Н.А. та Евтух, А.А. та Соболевский, В.П. та Ольховик, Г.П. (2011) Властивості низкорефрактивних плівок, отриманих за методом близького перенесення при сублімації графіту в квазізамкнутому об'ємі Журнал технической физики, 81 (11). с. 125-129. ISSN 0044-4642
Перегляд |
Текст
N_Sopinskii_V_Khomchenko_O_Lytvyn_etc_ZhTF_2011_v81_IS.pdf Download (318kB) | Перегляд |
Анотація
Представлено результати досліджень властивостей низкорефрактивних вуглецевих плівок, нанесених технологією близького перенесення при сублімації графіту в закритому об'ємі. За допомогою методу монохроматичної багатокутові еліпсометрії досліджено оптичні властивості плівок, а за методом атомно-силової мікроскопії - морфологія їх поверхні. Встановлено, що плівки мають стовбчасту структуру з базовою шорсткістю поверхні ~ 1nm, крім того, на поверхні плівки присутні окремі острівці з діаметром основи ~ 200nm і висотою до 50nm. Показано, що осадження нізкорефрактивної вуглецевої плівки за методом близького перенесення на поверхню кремнієвих вістрів призводить до зниження порогу електронної польової емісії та різкого зростання величини струму
| Тип елементу : | Стаття |
|---|---|
| Ключові слова: | низкорефрактивні вуглецеві плівки; багатокутова еліпсометрія; атомно силова мікроскопія |
| Типологія: | Це архівна тематика Київського університету імені Бориса Грінченка > Статті у журналах > Наукові (входять до інших наукометричних баз, крім перерахованих, мають ISSN, DOI, індекс цитування) |
| Підрозділи: | Це архівні підрозділи Київського університету імені Бориса Грінченка > Кафедра інформатики |
| Користувач, що депонує: | Оксана Степанівна Литвин |
| Дата внесення: | 30 Вер 2013 13:57 |
| Останні зміни: | 20 Лист 2015 13:47 |
| URI: | https://elibrary.kubg.edu.ua/id/eprint/2238 |
Actions (login required)
 |
Перегляд елементу |