Прокопенко І.В., Литвин П.М., Литвин О.С. (2012) Approach of determining the thickness of nanometer layers by atomic force microscopе 67348.
Preview |
Text
I_Prokopenko_P_Lytvyn_O_Lytvyn_Patent_IS.pdf Download (797kB) | Preview |
Official URL: http://uapatents.com/4-67348-sposib-viznachennya-t...
Abstract
The method for determining the thickness of nanometer layers deposited on a substrate, which comprises scratches that reaches the boundary of the "substrate-layer". The method is remarkable that in a layer form a series of scrathes that incised by probe of an atomic force microscope with increasing loading force on the probe, measuring the depth of the scratches at the same time. The depth value that remains unchanged for the last two or more scratches, obtained by increasing the loading force, is considered as a thickness of investigational layer.
| Item Type: | Patent |
|---|---|
| Additional Information: | Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова Національної академії наук України |
| Uncontrolled Keywords: | nanolayers; thickness; atomic force microscopy |
| Subjects: | Це архівна тематика Київського університету імені Бориса Грінченка > Патенти на винаходи |
| Divisions: | Це архівні підрозділи Київського університету імені Бориса Грінченка > Кафедра інформатики |
| Depositing User: | Оксана Степанівна Литвин |
| Date Deposited: | 25 Feb 2015 09:26 |
| Last Modified: | 13 Dec 2016 13:20 |
| URI: | https://elibrary.kubg.edu.ua/id/eprint/6222 |
Actions (login required)
 |
View Item |