Морфологічні та структурні зміни в напівпровідниках А3В5 і А2В6 та системах на їх основі, стимульовані післяростовими обробками

Литвин, Оксана Степанівна (2001) Морфологічні та структурні зміни в напівпровідниках А3В5 і А2В6 та системах на їх основі, стимульовані післяростовими обробками Кандидат thesis, Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України.

[img]
Перегляд
Текст
O_Lytvyn_Avtoreferat_PhD_phys-math_IS.pdf

Download (527kB) | Перегляд

Анотація

Дисертація присвячена виявленню зв�язку наноморфології поверхні полікристалічних плівок, що є компонентами напівпровідникових приладних структур, з їх внутрішньою кристалічною структурою, рівнем механічних напруг в системах як цілому та процесами на границі розділу фаз, спричиненими високотемпературними відпалами. Встановлено зв�язок морфологічних та структурних характеристик полікристалічних плівок ZnS:Cu з умовами їх виготовлення та післяростових обробок. Досліджено залежність структурної досконалості контактних систем на GaAs з антидифузійним шаром дибориду титану від режиму магнетронного напилення та їх термічну стійкість. З використанням комплексу методів рентгеноструктурного аналізу та атомно-силової мікроскопії поверхні показано пряму залежність морфологічних характеристик поверхні полікристалічних плівок від процесів структурної релаксації та перебудови як всередині плівки, так і на границі розділу плівка-підкладинка. Результати досліджень розвивають модельні уявлення про характер і походження структурних нерівноважностей багатошарових структур та процеси структурної релаксації в них, викликані зовнішніми впливами. Також вони важливі для вдосконалення технології виготовлення твердотільних напівпровідникових структур для мікроелектронних та оптичних пристроїв, оптимізації їх параметрів та підвищення ефективності роботи.

Тип елементу : Автореферат дисертації (Кандидат)
Ключові слова: Полікристалічні плівки; ZnS:Cu; контакти метал-GaAs; рентгеноструктурний аналіз; атомно-силова мікроскопія поверхні; високотемпературний відпал
Типологія: Автореферати > Спецради у інших ВНЗ
Підрозділи: Інститути > Інститут суспільства > Кафедра інформаційних технологій і математичних дисциплін > Кафедра інформатики
Користувач, що депонує: Оксана Степанівна Литвин
Дата внесення: 24 Вер 2013 07:23
Останні зміни: 02 Груд 2015 08:38
URI: http://elibrary.kubg.edu.ua/id/eprint/2121

Actions (login required)

Перегляд елементу Перегляд елементу