Литвин, Оксана Степанівна (2001) Морфологічні та структурні зміни в напівпровідниках А3В5 і А2В6 та системах на їх основі, стимульовані післяростовими обробками PhD thesis, Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України.
Перегляд |
Текст
O_Lytvyn_Avtoreferat_PhD_phys-math_IS.pdf Download (527kB) | Перегляд |
Анотація
Дисертація присвячена виявленню зв�язку наноморфології поверхні полікристалічних плівок, що є компонентами напівпровідникових приладних структур, з їх внутрішньою кристалічною структурою, рівнем механічних напруг в системах як цілому та процесами на границі розділу фаз, спричиненими високотемпературними відпалами. Встановлено зв�язок морфологічних та структурних характеристик полікристалічних плівок ZnS:Cu з умовами їх виготовлення та післяростових обробок. Досліджено залежність структурної досконалості контактних систем на GaAs з антидифузійним шаром дибориду титану від режиму магнетронного напилення та їх термічну стійкість. З використанням комплексу методів рентгеноструктурного аналізу та атомно-силової мікроскопії поверхні показано пряму залежність морфологічних характеристик поверхні полікристалічних плівок від процесів структурної релаксації та перебудови як всередині плівки, так і на границі розділу плівка-підкладинка. Результати досліджень розвивають модельні уявлення про характер і походження структурних нерівноважностей багатошарових структур та процеси структурної релаксації в них, викликані зовнішніми впливами. Також вони важливі для вдосконалення технології виготовлення твердотільних напівпровідникових структур для мікроелектронних та оптичних пристроїв, оптимізації їх параметрів та підвищення ефективності роботи.
| Тип елементу : | Спеціалізовані вчені ради (PhD) |
|---|---|
| Ключові слова: | Полікристалічні плівки; ZnS:Cu; контакти метал-GaAs; рентгеноструктурний аналіз; атомно-силова мікроскопія поверхні; високотемпературний відпал |
| Типологія: | Це архівна тематика Київського університету імені Бориса Грінченка > Автореферати > Спецради у інших ВНЗ |
| Підрозділи: | Це архівні підрозділи Київського університету імені Бориса Грінченка > Кафедра інформатики |
| Користувач, що депонує: | Оксана Степанівна Литвин |
| Дата внесення: | 24 Вер 2013 07:23 |
| Останні зміни: | 11 Квіт 2018 07:15 |
| URI: | https://elibrary.kubg.edu.ua/id/eprint/2121 |
Actions (login required)
 |
Перегляд елементу |